氣體質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-9產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)精度高、響應(yīng)時間快的模擬產(chǎn)品。
D07-9氣體質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-9產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)精度高、響應(yīng)時間快的模擬產(chǎn)品。
優(yōu)勢
• 中流量型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型電插頭，標準機械接頭
D07-9氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
項目 | D07-9E 型 | D07-9EM 型 | D07-9F 型 | D07-9FM 型 |
流量規(guī)格 | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM | 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM | 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM |
準確度 | ±2 % F.S. | ±2 % F.S. | ±2% F.S. | ±2 % F.S. |
線性 | ±1 % F.S. | ±1 % F.S. | ±1% F.S. | ±1 % F.S. |
重復精度 | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2% F.S. | ±0.2 % F.S. |
響應(yīng)時間 | (1 ~ 4) sec | (1 ~ 4) sec | ≤ 4sec | ≤4 sec |
工作壓差范圍 | 20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid） | - | 20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) | - |
氣壓降 | - | 20~100SLM: <0.02 MPa （2.9 psid）; | - | 20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); |
大工作壓力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐壓 | 3 MPa （435.1 psig） | 3 MPa （435.1 psig） | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) |
工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5℃ ~ 45℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 4~20 mA 或 1~5 VDC | 4~20 mA 或 1~5 VDC |
電源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | 24VDC 400 mA | 24 VDC 100 mA |
重量 | 2.6 kg | 1.5 kg | 2.6 kg | 1.5 kg |
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