數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述：

CS310C數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品類(lèi)型：高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

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CS310C數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品類(lèi)型：

高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

CS310C數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)	CS310C
產(chǎn)品類(lèi)型	高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
流量量程	1sccm,2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產(chǎn)品精度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional),±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional)
重復(fù)精度	±0.2% FS
線性	±0.5% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤0.8sec
工作溫度范圍	(0~50)°C
耐壓	3.5MPa
密封材料	金屬密封 Metal
輸入輸出信號(hào)	RS-485,DeviceNet
電源	±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類(lèi)型	常開(kāi)或常閉
溫度系數(shù)	Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero ≤±0.02% F.S./℃
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	＜0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接	D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率	1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化學(xué)成分	Cr/Fe ratio ＞2.0,CrO thickness ＞20 Angstroms
表面粗糙度	5µinch
抗電磁干擾	CE
重量	1Kg